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MSK-PSP-FE2020 閃蒸成膜儀

應用范圍：MSK-PSP-FE2020閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結晶設備。本設備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設計，設備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結晶致密均勻。該設備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號：MSK-PSP-FE2020

適應基材尺寸：Max L200mmxW200mmxH10mm

設備本體尺寸：約L420mmXW420mmXH350mm（以實物為準）

真空泵尺寸：約L350mmXW900mmXH500mm（不含油霧過濾器，以實物為準）

設備本體重量：約32KG（以實物為準）

真空泵重量：約120KG（以實物為準）

上架時間：2024-07-29

版本號：V1.2

A^-A⁺

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MSK-PSP-FE2020閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結晶設備。本設備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設計，設備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結晶致密均勻。該設備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

功能特點

獨特的真空管道設計，抽取真空時氣流平穩(wěn)；
配備大功率真空泵，抽真空速度快，更有利于溶劑揮發(fā)；
內置真空壓力測量傳感器，程序控制抽真空與泄壓，操作便捷；
配備手動調節(jié)進氣旋鈕，可控制泄壓時氣流量的大?。?
上蓋配備玻璃視窗，可觀察成膜過程；
可更換抽氣口方向，可選擇在側面或后面。（默認在設備后面）。

技術參數(shù)
電源	設備本體：單相AC220V，頻率50Hz，功率約200W 真空泵：三相四線制AC380V（可定制三相220V，60Hz），頻率50Hz，功率約3.7KW
極限壓力	設備本體：1Pa 真空泵：≤5x10^-1Pa
真空泵抽氣速率	標稱速率：90m^3/h 與設備本體連接后實測，5秒壓力可降至10Pa，10秒壓力可降至5Pa（在實驗室環(huán)境，腔體內無水無油空腔狀態(tài)下測得）
真空腔室漏率	≤5*10^-4Pa﹒m³/s
適應基材尺寸	Max L200mmxW200mmxH10mm
設備本體尺寸	約L420mmXW420mmXH350mm（以實物為準）
真空泵尺寸	約L350mmXW900mmXH500mm（不含油霧過濾器，以實物為準）
設備本體重量	約32KG（以實物為準）
真空泵重量	約120KG（以實物為準）

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